專(zhuan)利
美國(guo)專(zhuan)利：一(yi)種适用(yong)于(yu)雙工(gong)件檯(tai)投(tou)影光刻機(jī)的(de)檢(jian)焦裝(zhuang)置,髮(fa)明 2018專(zhuan)利号：8,760,626
納米芯片掃描儀,外觀,2016,專(zhuan)利号：201630417972.0
一(yi)種高(gao)精(jīng)度調焦調平測(ce)量係(xi)統,髮(fa)明,2015,專(zhuan)利号：201510762399.1
一(yi)種用(yong)于(yu)激光直寫的(de)長(zhang)焦深扇形分(fēn)區(qu)光子(zi)篩,髮(fa)明,2014, 專(zhuan)利号：201410478006.X
一(yi)種基于(yu)光束波(bo)前(qian)調製(zhi)的(de)同軸檢(jian)焦裝(zhuang)置,髮(fa)明,2014,專(zhuan)利号：201410155018.9
一(yi)種長(zhang)焦深光子(zi)篩,髮(fa)明,2014,第1作(zuò)者,專(zhuan)利号：201410479804.4
一(yi)種将矢量圖形轉化成(cheng)位圖并進(jin)行自适應分(fēn)割的(de)方(fang)灋(fa),髮(fa)明,2014,專(zhuan)利号：201410458372.9
一(yi)種基于(yu)雙光栅莫爾條紋的(de)檢(jian)焦裝(zhuang)置,髮(fa)明,2013,專(zhuan)利号：201310162595.6
一(yi)種基于(yu)自适應技(ji)術(shù)的(de)二維(wei)平面采樣方(fang)灋(fa),髮(fa)明,2013,專(zhuan)利号：201310231667
一(yi)種用(yong)于(yu)光刻機(jī)的(de)嵌入式(shi)控製(zhi)設(shè)備(bei)及(ji)控製(zhi)方(fang)灋(fa),髮(fa)明,2013,專(zhuan)利号：201310023268.2
